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產品分類無塵潔凈烘箱/干燥箱是參照GB/T11158-1989,GB2423.2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造,廣泛應用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
無塵烘箱干燥箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門,無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱/干燥箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。
PLC全自動真空干燥箱廣泛應用于各種化工、生物、制藥、醫療、農業科研、環境測試等研究領域;對粉末干燥、干燥熱敏性、易分解、易氧化物質等需要在真空條件下做干燥、烘培、消毒、測試等用處。
HMDS真空鍍膜機/真空烘箱,在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。